Những cấp bậc nguyên soái binh chủng đầu tiên được thành lập vào ngày 16 tháng 1 năm 1943 như sau:[2]

• Nguyên soái hàng không (маршал авиации)
• Nguyên soái pháo binh (маршал артиллерии)
• Nguyên soái thiết giáp (маршал танковых войск)

Vào tháng 10 năm 1943, thêm 2 cấp bậc nguyên soái binh chủng được thành lập:

• Nguyên soái thông tin liên lạc маршал войск связи)
• Nguyên soái công binh (маршал инженерых войск)

Ngoài ra, các cấp bậc Chánh nguyên soái binh chủng, được xếp bậc trên nguyên soái binh chủng cũng được thành lập:[3]

• Chánh nguyên soái hàng không (главный маршал авиации)
• Chánh nguyên soái pháo binh (главный маршал артиллерии)
• Chánh nguyên soái thiết giáp (главный маршал танковых войск)
• Chánh nguyên soái thông tin liên lạc (главный маршал войск связи)
• Chánh nguyên soái công binh (главный маршал инженерных войск)

Các cấp bậc nguyên soái binh chủng, cũng như cấp bậc chánh nguyên soái binh chủng đều được xem là tương đương cấp OF-9 của NATO.